歐美百般阻擾中國,光刻機(jī)到底能用來干啥?制造難度究竟多大?

最近幾年以來,中國因美國下達(dá)的禁令在許多領(lǐng)域都遭遇了阻礙,其中最為明顯的就是芯片領(lǐng)域 。
美國不光要求國外芯片代工企業(yè)停止為中國服務(wù),同時還向AMSL施壓,向中國實(shí)施光刻機(jī)禁運(yùn),就連中國此前已經(jīng)訂購的DUV光刻機(jī),也被美國強(qiáng)行扣下 。
由于缺少AMSL的光刻機(jī),中國國產(chǎn)芯片的生產(chǎn)舉步維艱,歐美如此百般阻擾中國,那么光刻機(jī)到底能用來干啥?制造難度究竟有多大?
AMSL,指一家荷蘭半導(dǎo)體企業(yè),是目前全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商之一,全球精度以及效率最高的高端光刻機(jī)均出自該企業(yè)之手 。

在現(xiàn)代芯片制造中,光刻機(jī)可謂是一項(xiàng)必需的設(shè)備,在晶圓加工成芯片的過程中,包括光刻氣體,光刻膠以及光罩在內(nèi)的一系列光刻工藝步驟,都需要光刻機(jī)來完成 。
而這些步驟占據(jù)了晶圓加工流程的30%,可以說,一個國家如果沒有光刻機(jī),在制造芯片時幾乎就是無從下手 。
但目前世界光刻機(jī)市場的話語權(quán),均被牢牢掌握在西方手里,荷蘭的AMSL更是壟斷了10納米工藝以下的光刻機(jī)市場 。
西方之所以能夠壟斷光刻機(jī)產(chǎn)業(yè),主要得益于西方國家在半導(dǎo)體技術(shù)上起步較早,有著全套的技術(shù)產(chǎn)業(yè) 。
而后發(fā)國家缺乏相關(guān)技術(shù),經(jīng)驗(yàn)以及產(chǎn)業(yè)配套,在光刻機(jī)制造上幾乎舉步維艱,與生產(chǎn)芯片的其他工藝相比,光刻機(jī)的制造高度復(fù)雜 。
這種設(shè)備的制造需要一個完整的高端產(chǎn)業(yè)鏈來提供部件,單獨(dú)一個企業(yè)不可能完成制造,AMSL雖然身為荷蘭公司,但這家公司背后卻代表的是整個西方半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè) 。

在AMSL的公司份額占比中,美國企業(yè)占據(jù)了近一半,這也意味著AMSL實(shí)際上是被美國掌控著,這也給AMSL生產(chǎn)光刻機(jī)帶來了無盡的方便,AMSL生產(chǎn)的每一臺光刻機(jī),都由來自美德日韓等國供應(yīng)商提供關(guān)鍵部件 。
以AMSL最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)為例,該光刻機(jī)的光源技術(shù)來自美國,工作臺跟鏡頭來自德國,激光器則來自日本,要錢有錢,要資源有資源的AMSL,壟斷市場是必然的 。
由此可見,目前在芯片領(lǐng)域被卡脖子的中國,想要實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)的國產(chǎn)化是相當(dāng)困難的,但生產(chǎn)國產(chǎn)光刻機(jī)并不是不可能 。
出于技術(shù)積累與人才儲備不足的問題,中國目前顯然無法完成高端光刻機(jī)的國產(chǎn)化,但對于中低端光刻機(jī),中國有足夠的實(shí)力去完成國產(chǎn)化 。
目前上海微電子公司就已經(jīng)展開了對28納米工藝光刻機(jī)的研發(fā),該光刻機(jī)將于今年交付使用,雖然28納米制程落后于國際領(lǐng)先水平,但這卻讓中國的光刻機(jī)工藝從90納米直接步入28納米,屬于重大進(jìn)步 。

考慮到光刻機(jī)技術(shù)的發(fā)展需要大量時間沉淀,在目前階段,中國應(yīng)該大力發(fā)展中低端光刻機(jī)技術(shù),并實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)交付,以此來擴(kuò)大產(chǎn)業(yè)規(guī)模,培養(yǎng)技術(shù)人才 。
【光刻機(jī)技術(shù)為什么這么重要 世界上光刻機(jī)有什么用】只有這樣,中國才能追上與西方在技術(shù)上的差距,并早日實(shí)現(xiàn)高端光刻機(jī)的國產(chǎn)化 。
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